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jem-arm200f是一台具有亚埃分辨率的扫描透射电子显微镜，配备有电子束球差校正系统、x-射线能谱仪和电子能量损失谱仪。可同时进行原子分辨率的成像和化学份分析。

扫描透射模式分辨率：暗场像 0.08 nm  明场像 0.14 nm

透射模式分辨率：点分辨率 0.19 nm 信息分辨率 0.10 nm

放大倍率：扫描透射模式 100 to 150,000,000x  透射模式 50 to 2,000,000x

光斑尺寸：最小直径0.10nm  

样品台 全对中侧插式测角台

样品尺寸 直径3mm

样品倾斜角 最大25°(使用双倾台)

移动范围 x/y:±1.0mm(马达驱动)

样品尺寸：透射电镜能够观察200nm以下的样品；块体样品，要求样品大小为直径3mm的圆，厚度为200nm以下。

样品状态：对于粉末和液体样品，要求样品均匀分散在支持膜上并且干燥。